【マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧】 一般機械小型化

【マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧】 一般機械小型化 收藏

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中古書籍です。
マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧
機械・装置のマイクロ化、一般機械の小型化の鍵となる
樋口 俊郎 生田 幸士【編】  フジ・テクノシステム1992/03/19 出版)
714ページ / 26cm / B5判  価格39800
本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。
大項目目次
第1編 基礎論(要素技術;材料)
第2編 微細加工技術(機械加工;マイクロ電気加工;機械部品加工のためのエッチング;真空蒸着;イオンプレーティング;CVD、気相成長法;スパッタリング法;エッチング;シンクロトロン放射光等)
第3編 マイクロメカニズムの要素(コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素;新しい手法によるマイクロ機械要素;微小量の測定および評価)
第4編 マイクロメカニズム事例(センサ;マイクロメカニズム;バイオ・医学用への応用)
函付き 本文中身は「良い」状態で、書き込み折れ焼け等なく良好です。函はシッカリしてますが、 スレ 子キズあり。 兵庫県よりクッション防水ビニールと表紙等をアルコール殺菌消毒で敏速に配送します。よろしくお願いします。
 
 
お振込先は、①三菱東京UFJ銀行、②三井住友銀行、③池田銀行  
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とさせていただいております。 よろしくお願いします
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